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Hitech Infra System

UT

UTILITY 배관이란 반도체 장비를 가동하는데 필요한 GAS(Process, Bulk, Toxic, etc), WATER(PCW, DIW, NPW, CTW, etc), CHEMICAL(유기, 무기), DRAIN(폐수, 폐액, 일반), EXHAUST(유기, 무기, 일반)를 공급하는 배관으로 UT배관의 범위는 UTILITY 공급처로부터 반도체장비 설치되는 곳까지 주관(Main Line) 및 횡지관(Sub Line)입니다.

UHP

ULTRA HIGH PURITY 배관이란 초고순도를 필요로 하는 장비에 초고순도 유체 운송을 목적으로 하는 배관으로 CLEAN ROOM에서 생산되어 전해연마 등 특수처리를 거친 배관자재를 사용하여 유체의 오염을 방지하며 초고순도 가스를 사용하는 반도체, 석유화학, 바이오, 제약 분야에 광범위하게 사용되고 있습니다.

UHP 종류

STS경량 장비 Hook-up 배관

일반 용접식 배관

C.D.A

PVC 배관

Spiral Duct

HOOK-UP

HOOK-UP 배관이란 반도체 공정에서 1차배관부터 장비까지 GAS(Process, Bulk, Toxic, etc), WATER(PCW, DIW, NPW, CTW, etc), CHEMICAL(유기, 무기), DRAIN(폐수, 폐액, 일반), EXHAUST(유기, 무기, 일반)를 공급하는 배관으로 FAB 구성이 완료된 후에 장비의 TURN-ON 일정에 맞추어 HOOK-UP 배관을 설계 및 시공합니다.