Products Pattern AOI

InSmart Extreme

Min. Line/Space : 5/5 ㎛
High End IC Substrate, PLP, WLP, ETS

InSmart Extreme은 세계최초로 5/5 ㎛ 미세패턴 검사설비로 개발하였으며 당사 고유의 Metrology기반 알고리즘을 기판 전역에 걸쳐 광범위하게 적용하여 PCB 고객사로부터 평가 및 인정을 받은 High End Level AOI 솔루션 입니다.

특장점

L/S = 5/5 ㎛ 미세회로 안정적 검사 가능
TDI Line Scan Camera 적용으로 제품대응력 향상
초정밀 정반/2D Linear Motor 적용으로 검출 반복도 확보
고정밀 실시간 선폭측정 기능 탑재
극한의 렌즈 성능
최강의 Auto Focus 기능 탑재
고품질의 리뷰 광학계
Best User Interface 제공으로 간편한 운용
고객 맞춤형 설비
(Option) Warpage(휨)기판 4 Edge부 Clamp적용

스펙

설비크기(㎜)	1,200(W) * 2,300(L) * 1,800(H)
설비중량(㎏)	2,400
공압(㎏/㎠)	5 ~ 6
최대검사크기(㎜)	650 * 610
제품두께(㎜)	0.05 ~ 3.0
전원	220V,단상, 50/60Hz ，3.5KVA
검사가능 MIN.LINE(㎛)	>5.0
지원CAM유형	ODB++， RS274X

상기 세부 사양은 실제 제품과 다를 수 있으니, 사전에 문의 바랍니다.
설비사이즈는 키모드, 모니터, 삼색등 반영 시 커질 수 있습니다.

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